產(chǎn)品分類
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產(chǎn)品型號
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509產(chǎn)品描述
ILS-LM 系列中檔行程線性電機(jī)動平移臺的亮點(diǎn)包括堅(jiān)硬的鋁制主體、優(yōu)異的精度和高占空比能力，以及線性電機(jī)的其他特性，如更快的運(yùn)動和更高的速度穩(wěn)定性。 高速，高加速度和高響應(yīng)性，磨損度極低 比螺桿驅(qū)動平移臺短 150 mm，使其更緊湊，更節(jié)省空間 高效可靠的線性電機(jī)，可實(shí)現(xiàn)較高扭矩和平滑運(yùn)動 FEM 優(yōu)化的鋁制機(jī)身可實(shí)現(xiàn)較高剛度，并最大限度減少熱膨脹和雙金屬彎曲效應(yīng)
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632產(chǎn)品描述
XM 超精密線性電機(jī)平移臺可提供持續(xù)、可靠的動力性能，運(yùn)動精度可以達(dá)到 1 nm。如此強(qiáng)大的定位能力使其成為各種要求苛刻、突破性應(yīng)用的理想選擇。 性能超高，最小增量運(yùn)動為 1 nm 非接觸直接驅(qū)動系統(tǒng)，精度超高、動態(tài)性能優(yōu)異且操作可靠 亞納米級高精度玻璃標(biāo)度編碼器，重復(fù)精度為 80 nm 超大型無鐵心高效率線性電機(jī)可最大限度地減少發(fā)熱 靜音抗蠕變交叉滾子軸承可確保無波紋運(yùn)動
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483產(chǎn)品描述
MLT 薄型鋁制直線電機(jī)平臺緊湊、薄型、高精度線性位移臺將 XM 系列的超精密性能與VP 線性位移臺系列的緊湊性相結(jié)合。 這些位移臺集合了適用于各種工業(yè)應(yīng)用的MKS精密位移臺的最新創(chuàng)新設(shè)計(jì)和專業(yè)知識，同時包含了與 MKS 運(yùn)動控制器一起使用所需的基本設(shè)置。 MLT 位移臺非常適合半導(dǎo)體、工業(yè)及科研中的典型掃描或點(diǎn)對點(diǎn)應(yīng)用，用于計(jì)量、傳感器測試和校準(zhǔn)、對準(zhǔn)和拾放組裝。
